Servicii

Servicii de proiectare/modelare:
Proiectare si simulare CAD de microstructuri si microsisteme electro-mecanice-MEMS (carmen. moldovan@imt.ro, L2; raluca.muller@imt.ro): Mediu integrat ce permite proiectare, modelari comportamentale, analize numerice 3D pentru aproape orice tip de MEMS. Programe software: COVENTOR 2005 si ANSYS 5.6 Inginerie si analiza asistata de calculator (utilizand instrumente FEM, FVM, BEM): Domeniu structural; Domeniu termic; Analiza microfluidica; Analiza electro-termo-mecanica si piezoelectrica; Simulari cuplate.
Proiectare/simulare asistata de calculator componente microfotonice pasive si active (L3): Programele software disponibile: Opti-FDTD - v.7.1 (2006) si Opti-BPM 9 (2007) pentru analiza a circuitelor de optica integrata; OptiHS v.1.0 pentru dispozitivelor fotonice pe baza de heterostructuri din compusi AIIIBV; Opti Grating v.4.2 - pentru componente microfotonice pe baza de retele de difractie.
Proiectare simulare circuite si  micro sisteme pentru microunde si unde milimetrice (L4 ): Servicii de modelare componente si circuite pentru microunde si unde milimetrice. Modelare electromagnetica si proiectare de circuite microprelucrate utilizate in domeniul microundelor si undelor milimetrice (inductori, capacitori, comutatori, filtre, antene, module receptoare etc.)
Software: IE3D (Zeland Software Inc., Freemont) bazat pe metoda momentelor, capabil de modelare tridimensionala a circuitelor pentru microunde si unde milimetrice. Permite optimizarea layoutului circuitului.

Servicii tehnologice:
Procesare seturi de masti pe substrat de crom cu dimensiunea de 4” sau 5”, cu un generator de configuratii cu fascicul laser ce permite obtinerea unei rezolutii de 0.6 mm. Linia de fabricatie masti este completa incluzand developare, corodare, controlul superpozitiei si control dimensional si de defecte.
Procesarea plachetelor de siliciu, ceramice, GaAs si substrate piezoelectrice. Tehnologiile micronice disponibile la IMT permit realizarea procesului de fotolitografie cu rezolutie de 2 mm, cu aliniere fata-spate pe substrat diverse. Sunt disponibile procese termice, dopari de fosfor si bor cat si procese  de  implantare. 
Procese de corodare uscata cu ioni reactivi (RIE) din plasma de CF4, CHF3, SF6, O2, N2, Ar. Se pot coroda plachete de 3 si 4 inch. Corodare straturi de: Si, SiC, SiO2, polySi, Si3N4, TiO2, SU8, PDMS, PMMA.

Servicii pentru nanoinginerie: nanolitografie, EBID (Electron Beam Induced Deposition), EBIE (Electron Beam Induced Etching) (aplicatii: retele de difractie, SAW, structuri 3D, holograme, microlentile).
Depunerea de straturi subtiri nano si micro-metrice prin depunere chimica din faza de vapori la presiune scazuta LPCVD- Si3N4, polisiliciu, oxizi de Si.
Depunere straturi subtiri metalice ( Au, Cr, Cu, Ag, Pt, Al, Ti, W) cu rol conductor sau catalitic in dispozitive MEMS sau C.I.
Depuneri de straturi polimerice prin spin coating cu aplicatii in bio si chemosenzori si optica integrata.
Depuneri si caracterizari de materiale biologice (ADN, Anticorpi) utilizand aparatura specializata, cu aplicatii in biocipuri,  biosenzori, etc, realizati pe sticla si pe siliciu.
Porozificare electrochimica a siliciului: (L1): realizarea unui strat de siliciu poros (PS) cu proprietati controlate, de grosime intre 2 si 500 mm pe plachete de siliciu; realizarea membrane de siliciul mezo- sau macroporos.
Procesare tehnologica a structurilor pentru dispozitive fotonice si optoelectronice (elemente optice difractive, ghiduri de unda).

Servicii de caracterizare:
· Microscopie electronica de baleiaj (SEM) + nanolitografie (adrian.dinescu@imt.ro, L6) Echipament: SEM -TESCAN VEGA 5136 LM prevazut cu sistem nanolitografie EBL RAITH -ELPHY Plus Rezolutia SEM: 3 nm. Rezolutia echipamentului de nanolitografie: 50 nm.
· Microscop (SPM) Ntegra Aura – NT-MDT, (raluca.gavrila@imt.ro, L6), pentru investigarea topografiei suprafetelor si caracterizarea cantitativa la scara micro si nanometrica, morfologie 3D. Operational in conditii atmosferice, in lichid, in atmosfera gazoasa controlata, vid scazut (10-2torr). Aria de lucru: 100x100x10 µm, nivel de zgomot, XY: 0,3nm, Z: 0,06nm,  neliniaritate X, Y in bucla inchisa < 0.15 %.
· Masuratori elipsometrice
  (munizer.purica@imt.ro, L3): analiza straturilor subtiri multiple de diverse materiale: dielectrici, oxizi conductivi, polimeri, semiconductori si determinarea constantelor optice (indicele de refractie, constanta dielectrica, coeficientul de extinctie) si metrice  Echipament: Elipsometru Spectral pentru domeniul UV/VIS (240 - 750 nm) SE 800 XUV, SENTECH
· Spectrometrie Raman (L3), microscopie si analiza pentru semiconductori, nano-materiale, polimeri.
- domeniu spectral: 400nm –1050nm, rezolutie spectrala : 0.35cm-1/pixel pentru laser 633 nm si retele de difractie  1800 gr/mm ;
- rezolutia spatiala a microscopului confocal – diametrul fascicolului laser mai mica decat 1 m performanta pentru axa confocala mai buna de 2 m.
· Spectrofotometrie de transmisie si reflexie(L3) pentru caracterizarea optica a straturilor subtiri prin spectrofotometrie. Echipament: Spectrofotometru - SPECORD M42 cu doua fascicule in domeniul 200 - 900 nm asistat de un PC cu software specializat.
· Masuratori spectroscopice de transmisie, reflexie, absorbtie pentru: materiale semiconductoare, materiale organice, oxizi, medii active filme subtiri cu aplicatii in micro-nanoelectronica. Analize pentru dezvoltarea unor tehnologii de obtinere a materialelor, studiul proprietarilor optice si de fotoluminiscenta, studiul defectelor structurale si al structurii electronice, integrarea materialelor avansate in structuri de dispozitiv (rodica.plugaru@imt.ro, L5). Spectrometrul cu fibra optica AvaSpec-256-NIR2.2 pentru domeniul IR (1100 – 2100 nm).
· Efectuare incercari mecano-climatice si de functionare de durata pentru produse ale microtehnologiilor: (virgil.ilian@imt.ro, L7). incercare robustete terminale, sudabilitate, acceleratie constanta, vibratii, ceata salina, cicluri termice, etanseitate; incercari de functionare de durata
· Diagnoza de fiabilitate pe produse/procese ale microtehnologiilor: (marius.bazu@imt.ro L7),Analize de fiabilitate (incercari /stabilirea mecanismelor de defectare/prelucrarea datelor/actiuni corective) pentru produse ale microtehnologiilor.